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螺杆式真空泵是容积式真空泵中的新式成员,呈现于20世纪90年代前后,开展较晚。但作为一种抱负干泵,螺杆式真空泵在问世后获得了加快速度进行开展。接下来,咱们一同了解一下它的基本知识吧!
螺杆式真空泵脱胎于螺杆式紧缩机与螺杆液体运送泵,是容积式真空泵中一种较为抱负的干式真空泵。
它能供给清洁无油的真空环境,而且对腐蚀性气体、可凝性蒸气、含粉尘颗粒气体有较强适应性。
因此在电子半导体、制药、石化等一些对清洁真空环境要求严厉、气体成分杂乱的职业范畴,螺杆式真空泵备受喜爱,渐渐的变成为传统油封机械泵、液环泵的换代产品。
螺杆式真空泵经过一对非对称螺杆转子的相向运动,来周期性改动齿间容积完成运送气体,到达抽气的意图。它具有以下特色:
1、清洁无油,多相混输,适应性广泛。螺杆式真空泵转子间存在严厉空隙,泵腔内无油,可抽除腐蚀性气体、有毒及含粉尘、可凝性蒸气等杂乱气体。
2、结构简略,动平衡好,牢靠性高。螺杆式真空泵零部件少,核心部件无易损件,也无不平衡惯性力,作业牢靠,寿命长。
4、强制输气,能够在宽压力范围内确保较大抽速,排气量简直不受排气压力影响。
螺杆式真空泵一般是双螺杆结构。螺杆式真空泵是经过一对非对称螺杆转子,在泵腔中作同步、高速反向作业,周期性改动齿间容积而发生的吸气和排气效果的抽气设备。
由于是脱胎于螺杆式紧缩机,所以螺杆式真空泵的作业原理也与螺杆式紧缩机相似。咱们以近似的多头型线、吸气进程
图中可见,阳转子按逆时针方向旋转,阴螺杆按顺时针方向旋转。图中上方的转子端面是吸气断面,下方的端面为排气端面。
图中,阳转子沿顺时针方向旋转,阴转子沿逆时针方向旋转。上方的转子端面是吸气断面,下方的端面为排气端面。a、紧缩进程开端
螺杆式真空泵的排气进程。齿间容积与排气孔口连通后,即开端排气进程。跟着齿间容积的不断缩小,具有排气压力的气体逐步经过排气孔口被排出。如图3a所示。这样的一个进程一向继续到齿结尾的型线彻底啮合。此刻,齿间容积内的气体经过排气孔口被彻底排出,关闭的齿间容积的体积变为零。
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