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泵的极限压力高于102Pa的真空泵归于低真空泵。常见的低真空泵有往复式真空泵、旋转式真空泵、液环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式线Pa的真空泵归于中真空泵。常见的有罗茨真空泵、多级喷射式真空泵、多级旋转机械真空泵以及十分快速地旋转式机械线Pa的真空泵归于高真空泵。常见的高真空泵有各种分散泵及分子泵等。
(4)超高线Pa的真空泵归于超高真空泵。超高真空泵主要有各种离子泵、低温泵等。
靠机械运动使泵腔作业容积周期改变来完成抽气效果的是机核式容积真空泵。归于这类泵的有往复式真空泵、旋转式机械泵(包含旋片式、螺杆式、罗茨式、液环式等)。这类泵中除机械增压泵外,一般均可独自运用。
没有机械运动部件,主要靠经过喷嘴的高速射流来抽真空的是射流式真空泵。归于这类泵的有水蒸气喷射泵、空气喷射泵、水喷射泵以及各种分散泵等。这类泵结构相对比较简单,作业牢靠,寿数长,易于修理,使用比较遍及。
依据体系对真空度的要求,挑选相应极限真空的泵。一般要求泵的极限真空比体系要求的极限线)体系正常作业时的压力规模
(3)被抽气体品种、成分、杂质状况及体系作业时对污染的约束要求被抽气体性质及对污染的要求是选不一样特性真空泵的一个重要条件。它不光与作业时泵的功能有关,并且直接与泵的作业寿数及检修保护状况有关,特别是在化工生产中,它往往是正确选泵的一个关键因素。
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