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iXL120 爱德华半导体真空干泵-Edwards是紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵,用于水处理和其他清洁作业运用。它可快速抽暇负载确定舱室,能耗极低。 iXL120 爱德华半导体真空干泵-Edwards可用于负载确定和清洁运用的且轻的泵之一。其低振荡和低噪音等级的使其适合于安装在机台上或工厂的夹心层中,然后有助于节约名贵的工厂地上空间。经过环保形式可在闲暇期间下降设备运用率,以此来下降操作本钱并协助保护环境!
Edwards iXL120 是紧凑型低能量的 110 m3h-1 干泵,用于水处理和其他清洁作业运用。 它可快速抽暇负载确定舱室,能耗极低。
Edwards iXL120 是可用于负载确定和清洁运用的且轻的泵之一。 其低振荡和低噪音等级的使其适合于安装在机台上或工厂的夹心层中,然后有助于节约名贵的工厂地上空间。 经过环保形式可在闲暇期间下降设备运用率,以此来下降操作本钱并协助保护环境!
iXL 系列干泵满意 平板显示器 (FPD)、半导体和太阳能制作商场 触及的排气要求。
这些功能的 泵旨在大极限地进步基板吞吐量,一起尽可能下降功耗、 占地上积和分量。此外,大修距离期内无须保护。
iXL120:紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵,用于晶圆加工和其他清洁作业运用。它可 快速抽暇负载确定舱室,能耗极低。可用于负载确定和清洁运用的且轻的泵之一。 其低振荡和低噪声级的使其适合于安装在机台上或 工厂的夹心层中,然后且助于节约名贵的工厂地上空间。环保 形式可在闲暇期间下降设备运用率,以此来下降运用本钱, 有助于保护环境。
iXL1000:紧凑型低能量的干 泵,适用于轻负载运用。它供给快速舱室抽暇和 极低的功耗。可用于轻负载运用(如晶圆加工、PVD 和 计量)的且安静的泵之一。此产品 在高度成功的 iXL120 泵的基础上构建,具有高抽取速度和 低能耗特性。经过环保形式可在闲暇期间下降设备 运用率,以此来下降本钱并协助保护环境。
IPUP2:紧凑型低能量的 180m3/h 干泵,用于晶圆加工和其他清洁作业运用。它可以 以低能耗快速抽暇负载确定舱室。
IPUP2 细巧简便,适用于负载确定 和清洁运用。其低振荡和低噪声级的使其适合于 在机台上运用或安装在工厂的夹心层中,然后有助于节约名贵的 工厂地上空间,一起大程序地进步泵送功能。环保形式可在 闲暇期间下降设备运用率,以此来下降运用本钱, 有助于保护环境。
适合在 Applied Materials 的制程平台上运用, 可进步处理才能,一起削减能耗。
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