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  集成电路晶圆的制作需求高端的干式真空泵来取得洁净的真空环境，这样才能够完结薄膜堆积、刻蚀、离子注入、光刻等超微工艺。坐落南通高新区的中科仪(南通)半导体设备有限责任公司便是这样一家专心于高端干式真空泵研制、出产的科学技能立异式企业。8月31日，省委书记信长星来到这儿调研，勉励企业持续聚集工业前沿、深耕专业范畴，打破更多要害中心技能，为提高工业链供应链耐性和竞争力作出新贡献。

  走进中科仪（南通）公司的机加车间，一条FMS柔性出产线正在高效运转。几台数字控制机床一字摆放，工作人员通过扫描二维码辨认部件后挑选对应的加工程序，设备就开端主动进行部件加工。眼前展厅内看到的干式真空泵便是中科仪（南通）公司的最中心产品。因为集成电路范畴各种制程会发生具有毒性、腐蚀性、可燃性、磨耗性、凝聚性，乃至沉积的固体颗粒物，需求高端的干式真空泵产品来取得洁净真空环境，集成电路前道序出产线%设备，都需求干式真空泵这样的中心要害零部件。

  中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司自2001年取得第一笔国家中小企业立异基金，敞开了干式线年，干式真空泵产品批量配备国内干流12英寸集成电路逻辑芯片晶圆厂，完成了产品国产化。2018年，公司成为国内首家向集成电路存储芯片晶圆厂批量供货的干式真空泵制作企业，奠定了职业龙头位置。2020年，企业出资10亿元在南通高新区建立全资子公司中科仪（南通）半导体设备有限责任公司，新建干式真空泵工业化建设项目，加快干式真空泵国产化代替的进程。

  现在，中科仪（南通）是国内能够批量出产使用集成电路12英寸晶圆厂干式线月首台试出产产品下线，现在，企业年出产产能达1万台以上。通过多年堆集，他们已建立了体系完善的研制渠道和科研部队，具有自主研制真空泵中心技能的强壮实力。构建了根底技能渠道、测验技能渠道和使用技能渠道三大研制渠道。渠道包括从市场需求分析、产品设计到质量验证等全流程，能快速呼应市场需求，确保产品质量。未来，中科仪（南通）将安身国家战略需求，服务高端配备制作业，持续坚持自主立异，以要害中心研制技能引领职业前进，为咱们国家科技前进贡献力量。（记者 顾锋）

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