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　　1、真空泵参数及选型真空泵选型真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降 低真空室内的气体压力，使之达到一定的要求的真空 度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范 围，至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个 范围。因此，为达到不一样产品的工艺指标、工作 效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要 选不一样的真空系统配置。为达到最佳配置，选 择真空系统时，应考虑下述各点： 确定工作真空范围：-首先必须检查确定每一 种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适 应的真空度范围，必须认真研究确定之。确定极限真空度-在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真 空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度 决定了系统的最佳

　　2、工作真空度。通常来说，系统 的极限真空度比系统的工作线%，比前级泵的极限线%。被抽气体种类与抽气量检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因 为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系 统将被污染。同时一定要考虑确定合适的排气时间 与抽气过程中产生的气体量。真空容积检查确定达到一定的要求的真空度所需要的时间、 真空管道的流阻与泄漏。考虑达到一定的要求真空度后在一定工艺技术要求条件下 维持真空需要的抽气速率。主线）其中：S为真空泵抽气速率（L/s）V为真空室容积（L）t为达到一定的要求线TorrP2=50Torr则：S=2.303V/t Log(P1/P2)=2.303x500/30xLog(760/50)=35.4L/s当然上式只是理论计算结果，还有若干变量 因素未考虑进去，如管道流阻、泄漏、过滤器的 流阻、被抽气体温度等。实际上还应当将安全系 数考虑在内。目前工业中应用最多的是水环式真空泵和旋片 式线、真空度、真空容积、主要介质、温度、主要 容积类设备。2、真空流入介质及流量、压力、温度、规律。3、抽气量、抽出气体介质、温度。4、真空设备的占地面积、自动化程度、真空管 道规格选用线、线、空泵的工作压强应该满足真空设备的极限 真空及工作压强要求。如：线mmHg的真空度，选用的线mmHg。通常选择泵的真空度要高 于真空设备真空度半个到一个数量级。2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为 10-310-7mmHg,在这样宽压强范围内，泵的抽 速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为 5X10-45泳0-6mmHg。因而，泵的工作点应该 选在这个范围以内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于 1 M0-5mmHg为 好。3、线、作压强下，应能排走真空设备 工艺过程中产生的全部气体量。4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽 气，因而，有时选用一种泵不能够满足抽气要求， 需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要 求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦， 而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅 射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来， 便会使真空装置得到较好的真空度。 另外，有的 真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的 真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都 需要把泵组合起来使用。5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求 无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子 筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如

　　6、果要求不 严格，可以再一次进行选择有油泵，加上一些防油污染措施， 如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁线、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气， 有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时， 必须了解到气体成分，针对被抽气体选择相应的 泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体， 应思考在泵的进气口管路上安装辅助设备， 如 冷凝器、除尘器等。7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。 如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或 者把油蒸气排到室外。8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境 有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的 泵或者采取防振动措施。9、真空泵的价格、运转及维修费用

　　7、这个化工手册有公式的，可以去查下！ S=QRT/（P*M）S是抽气率Q是系统漏气量，放气量。T是温 度，P系统压力M是系统气体分子量！线、玻义尔定律体积V，压强P, P?V=常数（一定质量的 气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积 成反比。即 P1/P2= V2/V1 ）2、盖？吕萨克定律当压强P不变时，一定质量的气体，其体积 V与绝对温度T成正比：（V1/V2 = T1/T2 =常数） 当压强不变时，一定质量的气体，温度每 升高（或 P降低）C，贝陀的体积比原来增加（或 缩小）1/273。3、查理定律当气体的体积V保持不变，一定质量的 气体，压强P与其他绝对温度T成正比，

　　8、即： P1/P2= T1/T2在一定的体积下，一定质量的气体，温度每升高（或降低）c，它的压强比原来增加（或减少）1/273。4、平均*程：A （5 为0-3）/P （cm）5、抽速：S= dv/dt （升/秒）或 S= Q/PQ =流量（托?升/秒） P =压强（托） V = 体积（升）t =时间（秒）6、 通导：C = Q/（P2-P1）（升 /秒）7、真空抽气时间：对于从大气压到1托抽气时间计算式：t=8V/S （经验公式）（V为体积，S为抽气速率，通常t在510 分钟内选择。）8、维持泵选择：S维=S前/109、扩散泵抽速估算：S= 3D2 （D =直径 cm）10、罗茨泵的前级抽速：

　　9、S= （0.10.2）S 罗（l/s）11、漏率:Q 漏=V(P2-P1)/(t2-t1)Q 漏一系统漏率(mmHg?l/s)V 系统容积(l)P1真空泵停止时系统中压强(mmHg)P2 真空室经过时间t后达到的压强(mmHg)t压强从P1升到P2经过的时间(s)12、粗抽泵的抽速选择：S= Q1/P 预(l/s)S=2.3V?lg(Pa/P 预)/tS机械泵有效抽速Q1 真空系统漏气率(托?升/秒)P预一要达到的预真空度(托) V 真空系统容积(升)t 达到P预时所需要的时间Pa大气压值(托)13、前级泵抽速选择：排气口压力小于一个大气压的传输泵如 扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等，

　　10、它 们工作时需要前级泵来维持其前级压力小于临 界值，选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量 排走，根据管路中，各截面流量恒等的原则有：PnS沪 PgS或 Sg Pgs/PnSg前级泵的有效抽速（l/s） Pn主泵临界 前级压强（最大排气压强）（l/s）Pg真空室最高工作压强（托）S主泵工作 时在Pg时的有效抽速。（l/s）14、扩散泵抽速计算公式：S= Q/P = （K?n）/（P?t）升 /秒）式中：S被试泵的抽气速率（l/s）n 滴管内油柱上升格数（格）t 油柱上升n格所需要的时间（秒）P在泵口 附近测得的压强（托）K 滴管系数（托？升/秒） K =V0?（L/n）?（ Y 0/ Y m）+

　　11、Va其中V0 滴管和真空胶管的原始容 积（升）L 滴管刻度部分的长度（mm）n 滴管刻度部分的格数 （格）Y0油的比重（克/厘米3）Ym汞的比重（克/厘米3）Pa当地大气压强（托） Vt 滴管的刻度上的一格的对应的容积（升/格）15、旋片真空泵的几何抽速计算公式：S= n ZnLKv(D2d2)/(24 104) (l/s)式中：Z为旋片数,n为转速(转/分),L为 泵腔长度，D为泵腔直径，d为转子直径(cm), Kv为容积利用系数(一般取95%)。16、O型橡胶槽深B = 0.7DD为橡胶直径，槽宽 C = 1.6B17、方形橡胶槽深B = 0.8AA为方形橡胶边长，槽宽C =1.67B选用

　　12、真空泵时，必须要格外注意下列事项：1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极 限真空及工作压强要求。如：线mmHg的真空度，选用的线mmHg。通常选择泵的真空度要高 于真空设备真空度半个到一个数量级。2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为 10-310-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽 速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为 5X10-45冰0-6mmHg。因而，泵的工作点应该 选在这个范围以内，而不能让它在 10-8mmHg 下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg 下工作，但其工作压强应小于 1

　　13、xi0-5mmHg为 好。3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设 备工艺过程中产生的全部气体量。4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性 抽气，因而，有时选用一种泵不能够满足抽气要求， 需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要 求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦， 而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅 射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的 真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的 真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都 需要把泵组合起来使用。5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要 求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分

　　14、 子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求 不严格，可以再一次进行选择有油泵，加上一些防油污染措 施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁 线、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸 气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵 时，必须了解到气体成分，针对被抽气体选择相应 的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气 体，应思考在泵的进气口管路上安装辅助设 备，如冷凝器、除尘器等。7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如 何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵， 或者把油蒸气排到室外。8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环 境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动 的泵或者采取防振动措施

　　15、。9、真空泵的价格、运转及维修费用。水环式真空泵的选择一、泵类型的确定泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气 压力而定。泵工作时，必须要格外注意以下两个方面：尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或 临界排气压力的区域内运行。应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。 在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不 稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真 空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽 蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音 和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏， 以致泵无法工作。根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压 力不高时，可优先在单级泵中选取。如果线、较高，单级泵往往不能满足，或者， 要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要 求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级 泵。如果线mmHg以上，可选 用水环-大气泵或水环一罗茨真空机组作为抽 真空装置。如果只作真空泵用，则选用单作用泵比较 好。因为单作用泵的构造简单，容易制造和维护， 且在高真空情况下抗汽蚀性好。如果仅作较大气量的压缩机使用，则选用双作用 的泵较为贴切。因为双作用泵的气量大，体积小， 重量轻，径向力能得到自动平衡，轴不容易产生 疲劳断裂，泵的常规使用的寿命较长。二、根据系统所需的气量选择真空泵初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还 要根据系统所需的气量来选用泵的型

　　17、号。关于真空泵的抽速选择及抽气时间计算可参照 我公司网页面对各种型式的水环式真空泵及压 缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用 户选型代号 主要特征极限真空度mmHg工作真空度mmHg抽速范围m3/min密封形式sk国内设计单级水环真空泵，结构相对比较简单、维修方便。目前国内主流的低线sk国内设计双级水环真空泵，相当于两台SK水环泵串联使用，比较单级水环泵具有真空 度高及高真空下抽速较大的特点。目前国内主流水环泵。-735盘根、机械密封式线BV采用西门子先进的技术，机泵同轴，结构紧密相连，效率高，线、，稳定性很高，将逐渐 替代SK、2SK系列0.46m3/min抽速的水环线采用西门子先进的技术，效率高，真空度高，稳定性很高，将逐渐替代 SK、2SK系列 6120m3/min抽速的水环线-盘根、机械密封SZ 50年代苏联技术，效率低，能耗大，80 年代初已被淘汰，主要使用在于老用 户。--6501.527盘根SZB 50年代苏联技术，效率低，能耗大， 80年代初已被淘汰，主要使用在于水泵引水，目 前已被 SK 系列水环泵替 代。-.33

　　19、0.66盘根2SY主要使用在于水环压缩机，最大排气压强为0.6MPa-630机械密封2YK结构基本与2SK系列相同，可以用被抽介质作为工作液，极限真空度随被抽介质的饱 合蒸气压而改变。表中极限真空度为工作介质为 变压器油时的极限线机械密封本文由上海泰通泵阀提供：http:选用真空泵时，必须要格外注意下列事项：i、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。 女口: 线mm Hg勺真空度，选用的线mmHg 通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。2、正

　　20、确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，女口: 扩散泵为10-310-7mmHg在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳 定的工作压强范围为510-4510-6mmHg因而，泵的工作点应该选在这个范围之 内，而不能让它在10-8mmHgF长期工作。又如钛升华泵可以在 10-2mmH下工 作，但其工作压强应小于110-5mm H为好。3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全 部气体量。4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用 一种泵不能够满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。 如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，

　　21、而三极型溅射离子泵，（或二极 型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装 置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空； 有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无 油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格， 可以再一次进行选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能 达到清洁线、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无 腐蚀性等。选择真空泵时，必须了解到气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。 如果

　　22、气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应思考在泵的进气口管路上安 装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污 染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程 不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。9、真空泵的价格、运转及维修费用。水环式真空泵的选择一、泵类型的确定泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。泵工作时，必须要格外注意以下两个方面：尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极

　　23、低，而且工作很不稳定，易产生 振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发 生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、 叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中 选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较 高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选 用两级泵。如果线mmH以上，可选用水环大气泵或水环罗 茨真空机组作为抽真空装置。二、根据系统所需的气量选择真空泵初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来

　　24、选用泵的型号。关于真空泵的抽速选择及抽气时间计算可参照我公司网页真空计算公式。面对各种型式的水环式真空泵及压缩机， 我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型杜号主要特征极喂富空度mnHg工作真空度mftHg抽速范围m3/ min密封形式SK国内设计单级水环真空泵.结构間单.维俺方僵 目前国内主涼的低线SK国内设计双级水环真空泵，相当于两台邸水环泵 串联使用.比较单披水环泵具有瓦空厦高及高豆 空下抽速较大的特点。目前国内主涼水环式线Y采用西门子先囲史术，机泵同總 结构紧凑，效 率高，线、空度高，稳定性很高，将逐渐替代SK、 為K系列山qFm7m词由速的水环直空泵。-T36-300-7000.458.33机械密封2BE1采坤西门子先进披术，效率高，直空度高，性能 稳定，将逐渐替代SK、2SK系列矿12g7mm抽速 的冰环线年代苏联技术，效率低，能耗大，旳年代初己 鞭淘汰，主要使用在干老用户卩-64a-7oa-300-6501.527盘根SZB50年代苏联技术，效率低，能耗大，帥年代初已 被洵汰，主要使用在干水泵引水，昌前己被孤粟列 水环泵替代。-. 330. 66盘根2SY主宴应

　　26、用于水环压缩机，最大排气压遇为DWMPa-63Q机械密封2YK结构基本与2SK鬲列相同，可以用被抽介质作均 工作液，极眠苴空度随被1由介质的匏台蒸宅坛而 改变。恚中极限真空度为工作介质为变压器油时 肿极限线机械密封真空泵一览表名称型号抽气速 率L/s极限真空Pa配用 功率 kW旋片线XD、X单级旋片 线X型单级旋片线H型滑阀线BE1型双级水环式线BV型水环式 线SK型双级水 环式线S、SK型水环式线、85SZ、SK型水环 式线环式线(15)沢101.3片线片线- J* A 泵 组空 机JZJS型罗茨、水环线S型罗茨、水环线JZJH型罗茨、滑阀线型水环线)线”表示正一个大气压，“ -0.1 ”表示绝对真空。真空表上的指示值不表示真空度的绝对值，只表示了真空度的相，一二 对值。真空度的换算；根据本表的刻度示值范围, 的绝对值与相对值可用下式换算：P=1X105 ( 1-S /0.1 P -真空度的绝对值(卜真空表的刻度示值绝对值.例一：表的示值为 0,则 P=1X105( 1-O/0.1 )=1 X105.Pa = 1 个大气压 - . _ . . 例二：表的示值为 0.1,则 P=1X105 (1-0.1/0.1) = 0二Pa为

　　30、绝对真空。(绝对真空是不存在的)例三：表的示值为 0.08，则 P=1X105 (1-0.08/0.1) = 2 X04 Pa本产品的线, 接近于-0.1)时的低真空度状态下仍能保障正常工作。产品的真空度主要根据 配套真空泵的性能。真空度计量单位换算如下：0.1Mpa =1 X05 Pa = 760mmHg = 1 个大气压1 乇=1mmHg = 133.33Pa2 乇=0.00026666Mpa 267Pa(2)真空表读数可以用直观的数字来显示。但价格相对较昂贵，一般适用于 科研单位。用户如有需求，本企业能订货供应。22

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